Компания Boyang Dashin, глубоко занимающаяся оборудованием для очистки полупроводников, полностью автоматическое оборудование для влажной очистки реализует операции по интеграции процессов. 

Поскольку полупроводниковая промышленность продолжает развиваться, стабильность оборудования для очистки пластин стала в центре внимания при производстве чипов. Компания Xianghe Boyang Daxin Machinery Equipment Co., Ltd. специализируется на исследованиях, разработках и производстве оборудования для влажной очистки полупроводников, создавая полностью автоматическое оборудование для влажной очистки полупроводниковых пластин, опираясь на модульную конструкцию для адаптации к потребностям очистки различных типов полупроводниковых заготовок.

Все оборудование пригодно для использования в чистых цехах. Основная рама и технологический резервуар изготовлены из полипропилена, который обладает превосходной коррозионной стойкостью и может выдерживать воздействие различных агрессивных чистящих средств в течение длительного времени, уменьшая осаждение частиц и загрязнение пластин. Оборудование объединяет несколько комплектов технологических резервуаров и оснащено интеллектуальным механизмом манипулятора. Он может автоматически выполнять загрузку пластин, замачивание в жидкости, очистку распылением, промывку чистой водой и сушку без ручного вмешательства, а также удалять различные загрязнения с поверхности пластин.

Оборудование оснащено независимой выхлопной системой и трубопроводами отвода выхлопных газов для быстрого удаления агрессивных газов, образующихся в процессе эксплуатации, для обеспечения безопасности производственной среды цеха. Весь набор параметров процесса можно запрограммировать, а температуру, концентрацию жидкости, время замачивания и скорость потока распыления можно отрегулировать по мере необходимости, чтобы обеспечить стабильный и равномерный эффект очистки для каждой партии. Модульная конструкция процесса обеспечивает гибкий выбор функциональных блоков и может комбинироваться с различными процессами очистки, такими как травление, очистка щелочью и сушка растворителем.

Оборудование оснащено прозрачным окном наблюдения и интерфейсом взаимодействия человека с компьютером с сенсорным экраном, позволяющим операторам наблюдать за внутренним рабочим состоянием в режиме реального времени. Дно оснащено роликами и выравнивающим основанием для облегчения размещения оборудования и горизонтальной калибровки, что соответствует условиям установки чистых мастерских классов 100 и 1000. Оборудование поддерживает обработку пластин разных размеров, а длину оборудования можно настроить в соответствии с технологическими требованиями заказчика. Компания предоставляет комплексные услуги, включая проектирование решений, производственную сборку, установку на месте, отладку и доставку, а также обслуживание сценариев производства полупроводниковых пластин, упаковки и обработки устройств MEMS.