Полностью автоматическое оборудование для влажной очистки Boyang Dashin позволяет решить проблему очистки и очистки и защищает качество поверхности пластин. 

В процессе производства полупроводников крошечные загрязнения могут привести к выходу из строя чипа. Влажная очистка – ключевой процесс, обеспечивающий чистоту пластин. Компания Xianghe Boyang Daxin Machinery Equipment Co., Ltd. разрабатывает и производит полностью автоматическое оборудование для влажной очистки полупроводниковых пластин с антикоррозионной структурой и автоматизированным дизайном для решения проблем, связанных с операциями по очистке пластин в чистых цехах.

The entire equipment adopts a polypropylene anti-corrosion body. The frame and tank are resistant to strong corrosion cleaning liquids. Particle precipitation is strictly controlled, making it suitable for clean semiconductor production environments. Оборудование включает в себя многопроцессорные резервуары, автоматические манипуляторы, системы циркуляции химической жидкости, выхлопа выхлопных газов и электронные системы управления, которые полностью автоматически завершают весь процесс влажной очистки, реализуя непрерывные операции загрузки пластин, замачивания, распыления, промывки и сушки, а также удаления частиц, органических веществ и металлических примесей с поверхности пластин.

Автоматизированный манипулятор отвечает за автоматическую передачу, загрузку и выгрузку пластин, сокращая ручной контакт с заготовками и снижая риск вторичного загрязнения. Модульная конструкция резервуара обеспечивает гибкое сочетание нескольких процессов очистки, включая травление, очистку щелочью, промывку деионизированной водой, сушку изопропиловым спиртом и другие процессы. Весь набор параметров процесса можно запрограммировать и контролировать для стабильного контроля температуры очистки, концентрации жидкости и времени вымачивания, чтобы обеспечить постоянство результатов периодической очистки. Оборудование оснащено независимой выхлопной системой для быстрого отвода агрессивных выхлопных газов и предотвращения потенциальных угроз безопасности в мастерской.

Оборудование оснащено прозрачным смотровым окном и сенсорным экраном, позволяющим персоналу контролировать рабочее состояние. Регулируемое основание внизу адаптируется к стандартам установки чистых мастерских и может соответствовать требованиям чистых мастерских класса 100 и класса 1000. Оборудование совместимо с пластинами различных спецификаций, а внешние размеры настраиваются в соответствии с количеством технологических слотов заказчика. Компания предоставляет полный спектр услуг, от проектирования решений, заводской сборки до установки и отладки на месте, и широко используется в производстве полупроводниковых пластин, упаковке и влажной очистке устройств MEMS.