
Это прецизионный интегрированный фланцевый узел с втулкой, специально разработанный для полупроводникового оборудования.
Это прецизионный интегрированный фланцевый узел с втулкой, специально разработанный для полупроводникового оборудования. Он изготовлен с использованием пятиосевого процесса фрезерования и токарной обработки на станках с ЧПУ, имеет несколько комплектов крепежных сквозных отверстий на монтажной поверхности фланца и многоступенчатое ступенчатое внутреннее отверстие с позиционирующими канавками. В основном используется в вакуумных камерах для полупроводников, системах транспортировки жидкостей и уплотнениях шпинделей, служит основным позиционирующим, соединительным и несущим структурным компонентом, обеспечивая стабильную работу в чистых средах. Поддерживается изготовление на заказ из материалов, с заданными размерами и допусками на основе предоставленных чертежей.
1. Интегрированный процесс литья: фрезерование и токарная обработка выполняются за один этап, что уменьшает отклонения в размерах и положениях, вызванные многократными операциями зажима, обеспечивая высокую соосность и точность плоскостности.
2. Конструкция позиционирования фланца: равномерно распределенные монтажные отверстия на торцевой поверхности облегчают выравнивание и фиксацию полости оборудования, обеспечивая хорошую повторяемость сборки.
3. Многоступенчатая конструкция с внутренними отверстиями и канавками: внутренние ступени и упорные канавки обеспечивают точное позиционирование уплотнений, подшипников или втулок.
4. Контролируемая обработка поверхности: металлическая подложка может быть пассивирована, отполирована, подвергнута пескоструйной обработке и т. д., что приводит к низкому осаждению и малому количеству частиц, что подходит для чистых сред полупроводниковой промышленности.
5. Варианты материалов: нержавеющая сталь 304/316L, алюминиевый сплав и специальные сплавы; также доступны варианты из PEEK и других специальных конструкционных пластиков.
6. Контроль качества на всех этапах процесса: измерение размеров с помощью координатно-измерительных машин (КИМ) и 100% заводской контроль для соответствия строгим требованиям качества полупроводникового оборудования.
Конструкция: Композитная конструкция фланца и многоступенчатой втулки
Технология обработки: 5-осевой ЧПУ, фрезерная и токарная обработка
Рекомендуемый материал: Нержавеющая сталь 316L (широко используется в полупроводниковой промышленности)
Диапазон размеров: Внешний диаметр ≤ 150 мм, может быть увеличен или уменьшен по мере необходимости
Допуск по размерам: ±0,005~±0,02 мм (в соответствии с чертежами)
Геометрический допуск: Соосность и биение торцевой поверхности контролируются в пределах 0,01 мм
Шероховатость поверхности: Ra0,8~Ra3,2 (регулируется по мере необходимости)
Применимые сценарии: Вакуумное оборудование для полупроводниковой промышленности, прецизионная автоматизация, контрольно-измерительные приборы, медицинское оборудование
Способ поставки: Прототипирование → Изготовление образцов → Серийное производство, сборка в чистом помещении класса 10 000 (по желанию)