
Этот продукт представляет собой крупномасштабную интегрированную камеру обработки из ПТФЭ (политетрафторэтилена), состоящую из опорной плиты, центральной цилиндрической камеры, а также ручки и прижимного кольца из нержавеющей стали.
Этот продукт представляет собой крупномасштабную интегрированную камеру обработки из ПТФЭ (политетрафторэтилена), состоящую из опорной плиты, центральной цилиндрической камеры, а также ручки и прижимного кольца из нержавеющей стали. Опорная плита имеет множество предварительно просверленных отверстий для технологической жидкости, центральная цилиндрическая камера является камерой химической реакции, а прижимное кольцо из нержавеющей стали с ручкой облегчает разборку и техническое обслуживание. Являясь основной реакционной камерой оборудования для влажной очистки/травления полупроводников, вся эта сборка непосредственно удерживает пластины и агрессивные химические вещества, отвечая требованиям чистоты и коррозионной стойкости. Объем камеры и расположение отверстий могут быть настроены в соответствии с технологическими чертежами оборудования.
1. Основной корпус изготовлен из ПТФЭ: устойчив к сильным кислотам и щелочам, различным агрессивным химическим веществам, обладает низким уровнем выщелачивания, отвечая высоким требованиям чистоты в полупроводниковых процессах.
2. Крупномасштабная интегрированная обработка на станках с ЧПУ: уменьшает количество сварных швов, снижая риск утечки частиц и химических веществ.
3. Интегрированные многоканальные технологические отверстия: В опорной плите имеются предварительно просверленные отверстия для ввода/вывода жидкости, вентиляции и установки датчиков, что позволяет адаптировать ее к схемам трубопроводов для влажных технологических процессов.
4. Рукоятка из нержавеющей стали с кольцом прижимного давления: Облегчает подъем, разборку и техническое обслуживание полости; обеспечивает позиционирование и зажим для герметичности торцевой поверхности.
5. Чистота и легкость очистки: Поверхность из ПТФЭ не прилипает к химическим веществам, снижая вероятность загрязнения частицами и упрощая техническое обслуживание оборудования.
6. Модульная поставка: Полость из ПТФЭ и металлическое кольцо прижимного давления поставляются в собранном виде, что минимизирует объем работ по сборке на месте для заказчика.
Технология обработки: Фрезерование и токарная обработка листового/пруткового материала из ПТФЭ на станках с ЧПУ, сварка и сборка металлических деталей
Основной материал корпуса: ПТФЭ (политетрафторэтилен); Прижимное кольцо/рукоятка: нержавеющая сталь 304/316
Конструкция: Большое основание + центральная цилиндрическая полость, с соответствующим зажимным кольцом и рукояткой из нержавеющей стали
Диапазон размеров: Внешний диаметр базового диска может быть изменен по индивидуальному заказу, стандартный максимальный внешний диаметр ≤1200 мм
Допуски обработки: Сопрягаемая поверхность полости ±0,05 мм, технологическое отверстие ±0,08 мм
Применимые сценарии: Реакционные камеры для оборудования для влажной очистки и травления полупроводниковых пластин
Способ поставки: Оценка чертежа → Отдельная механическая обработка → Предварительная проверка сборки → Отправка полного комплекта