
Этот компонент представляет собой тройниковый адаптер специальной формы для вакуумного оборудования полупроводниковой промышленности, изготовленный из цельной заготовки из алюминиевого сплава с использованием пятиосевого интегрированного фрезерования с ЧПУ.
Этот компонент представляет собой тройниковый адаптер специальной формы для вакуумного оборудования полупроводниковой промышленности, изготовленный из цельной заготовки из алюминиевого сплава с использованием пятиосевого интегрированного фрезерования с ЧПУ. Основной корпус представляет собой композитную конструкцию из цилиндра и бокового углового фланцевого соединения. Боковой порт имеет резьбовые отверстия для фланцевого крепления, а внутренние каналы потока имеют плавный переход, без песчаных ям и пор. Он широко используется в вакуумных трубопроводах полупроводниковой промышленности, газораспределительных кабинах и модулях адаптеров технологических кабин. Являясь основным конструктивным элементом для подачи газа и соединения кабин в вакуумной среде, он поддерживает изготовление из материалов, конструкций каналов потока и уровней точности в соответствии с предоставленными чертежами.
1. Пятиосевое интегрированное фрезерование: Прямая обработка из цельной заготовки исключает риск утечки из-за сварки, что обеспечивает лучшую вакуумную герметизацию и пригодность для условий полупроводниковой промышленности.
2. Неправильная угловая конструкция канала потока: Боковая угловая тройниковая конструкция обеспечивает плавный переход канала потока, уменьшая турбулентность воздушного потока и соответствуя требованиям к подаче технологических газов для полупроводниковых технологий.
3. Обработка резьбовых отверстий во встроенном фланце: Монтажный фланец и основной корпус обрабатываются как единое целое, обеспечивая высокую точность отверстий, удобную сборку и выравнивание, а также прямое соединение с другими вакуумными компонентами.
4. Контролируемая внутренняя и внешняя обработка поверхности: Внутренняя стенка может быть отполирована по мере необходимости для уменьшения осаждения частиц, что делает ее подходящей для производственных помещений в полупроводниковых технологиях.
5. Варианты материалов: алюминиевый сплав 6061/7075, нержавеющая сталь 304/316L; доступны такие виды обработки поверхности, как твердое анодирование и пассивация.
6. Полная проверка точности размеров: Координатно-измерительная машина для проверки геометрических допусков; полная заводская проверка для обеспечения точности сборки вакуумной камеры.
Технология обработки: 5-осевое фрезерование с ЧПУ
Рекомендуемая подложка: алюминиевый сплав 7075/6061 (широко используется в полупроводниковых лампах)
Конструкция: цилиндрический корпус + угловой Т-образный фланец
Диапазон размеров: максимальный внешний контур может быть выполнен в пределах 600 мм по требованию
Допуск по размерам: ±0,01~±0,03 мм (в соответствии с требованиями чертежа)
Шероховатость поверхности: наружная стенка Ra1,6~Ra3,2; внутренняя стенка может быть отполирована до Ra0,8
Применимые сценарии: вакуумные камеры для полупроводниковых изделий, газопроводы, оборудование для вакуумного напыления, прецизионное испытательное оборудование
Способ поставки: оценка чертежа → тестирование прототипа → серийное производство; последующая сборка может быть выполнена в чистой комнате класса 10000.