
Это оборудование представляет собой автономный шкаф подачи химикатов для линий влажной обработки полупроводников. Вся установка имеет каркас из листового металла и включает в себя химический насос, фильтр, датчик давления, электромагнитный клапан, трубопроводы и модуль электрического управления.
Это оборудование представляет собой автономный шкаф подачи химикатов для линий влажной обработки полупроводников. Вся установка имеет каркас из листового металла и включает в себя химический насос, фильтр, датчик давления, электромагнитный клапан, трубопроводы и модуль электрического управления. Ее основная функция — стабильная подача технологических химикатов к оборудованию для влажной очистки, обеспечение циркуляции химикатов, фильтрации, контроля давления и расхода, а также поддержание постоянной температуры и давления. Широко используется во влажных процессах, таких как очистка и травление пластин.
1. Модульный вертикальный шкаф, компактная компоновка, удобство для размещения рядом друг с другом на производственной линии, а также достаточно места для обслуживания и ремонта.
2. Полный контур циркуляции химикатов со встроенным блоком прецизионной фильтрации, непрерывно удаляющий химические частицы для обеспечения чистоты процесса.
3. Мониторинг множества параметров в реальном времени: измерение давления, расхода и уровня жидкости в реальном времени, с оповещениями о неисправностях для обеспечения стабильности процесса.
4. Конфигурация трубопроводов, устойчивая к коррозии, совместимая с различными кислотными и щелочными технологическими химикатами, снижающая химическое загрязнение.
5. Конструкция с защитой от утечки, оснащенная кнопкой аварийной остановки и системой обнаружения утечек для предотвращения риска утечки химических веществ.
6. Возможность индивидуальной настройки количества трубопроводов и каналов, поддержка одноканальных/многоканальных решений для подачи раствора.
Материал корпуса: Холоднокатаная стальная пластина с порошковым покрытием
Конструкция: Вертикальный автономный блок подачи раствора с колесиками и регулируемыми опорами
Каналы подачи: Доступны один или несколько каналов подачи раствора
Вспомогательные компоненты: Магнитный насос, капсульный фильтр, датчик давления/расхода, пневматический клапан, система электрического управления
Применимые сценарии: Подача раствора для оборудования для влажной очистки и травления полупроводниковых пластин
Способ поставки: Подтверждение решения → Изготовление листового металла → Сборка трубопроводов → Тестирование при включении → Ввод в эксплуатацию и поставка на месте