Продукция
Полностью автоматизированное оборудование для влажной очистки полупроводниковых изделий
Это полностью автоматическая машина для влажной очистки полупроводниковых пластин, предназначенная для использования в чистых помещениях.
Описание
маркер
Описание продукта
Это полностью автоматическая машина для влажной очистки полупроводниковых пластин, предназначенная для использования в чистых помещениях. Вся машина выполнена в коррозионностойком полипропиленовом корпусе и включает в себя несколько технологических резервуаров, автоматический роботизированный манипулятор, систему циркуляции химических реагентов, систему вытяжки и систему электрического управления. Она автоматически выполняет весь процесс влажной очистки, включая загрузку пластин, погружение, распыление, ополаскивание и сушку, для очистки и удаления частиц, органических веществ и металлических примесей с поверхности полупроводниковых пластин. Широко используется в производстве, упаковке и тестировании полупроводниковых пластин.
Особенности продукта
1. Коррозионностойкий корпус: рама и резервуары изготовлены из полипропилена, устойчивого к различным сильно коррозионным чистящим растворам, с низким уровнем выщелачивания твердых частиц.
2. Полностью автоматическая роботизированная манипуляторная система: автоматическая загрузка и выгрузка пластин, а также перемещение между резервуарами, что снижает ручной контакт и загрязнение.
3. Многорезервуарный модульный процесс: может быть сконфигурирован с различными технологическими блоками, такими как кислотная промывка, щелочная промывка, ополаскивание деионизированной водой и сушка изопропиловым спиртом.
4. Независимая система вытяжки: оснащена трубопроводами для отвода отработанных газов, обеспечивающими быстрое удаление коррозионных газов и безопасность цеха.
5. Контролируемые параметры процесса: температура, концентрация раствора, время выдержки и скорость потока распыления программируются, обеспечивая высокую стабильность процесса.
6. Адаптируемость к чистым помещениям: прочные колеса и выравнивающее основание делают его подходящим для чистых помещений класса 100/1000.
Технические характеристики
Материал: антикоррозионный корпус из полипропилена, технологические резервуары из акрила/ПТФЭ, трубопроводы и комплектующие из нержавеющей стали
Конструкция: длинный интегрированный блок с несколькими резервуарами, прозрачным смотровым окном и сенсорным экраном человеко-машинного интерфейса
Применимые размеры пластин: доступны варианты 4 дюйма/6 дюймов/8 дюймов/12 дюймов
Габаритные размеры: изготавливаются на заказ в зависимости от количества технологических резервуаров; длина обычно 3-8 м
Рабочая среда: чистая комната класса 100/1000
Применимые сценарии: производство полупроводниковых пластин, упаковка, процессы влажной очистки MEMS-устройств
Способ поставки: проектирование решения → сборка на производстве → монтаж и ввод в эксплуатацию в чистой комнате → приемка и передача
связаться с нами
Сопутствующие популярные продукты
Пористая чистящая корзина из ПТФЭ
Этот продукт представляет собой цельную чистящую корзину из белого политетрафторэтилена (ПТФЭ), изготовленную на станке с ЧПУ. Нижняя поверхность корзины плотно покрыта перфорацией, а верхняя имеет предварительно просверленную выемку и монтажные отверстия.
Корпус квадратной полости оборудования из алюминиевого сплава
Этот продукт представляет собой квадратный корпус для оборудования из алюминиевого сплава, изготовленный методом высокоточной обработки и собранный из листов алюминиевого сплава.
Сварка пластмасс
Разнообразие технологических процессов: поддерживается ультразвуковая сварка, сварка нагретым инструментом, лазерная сварка, вибрационная сварка трением, сварка вращением и другие виды сварки, удовлетворяющие потребности различных конструкций и материалов.
Круглая пористая клапанная пластина из ПОМПТФЭ (политетрафторэтилена).
Это изделие представляет собой белую круглую пластину из инженерного пластика, изготовленную с высокой точностью на станках с ЧПУ. На лицевой стороне выполнено множество резьбовых, потайных и сквозных отверстий, а на внешнем кольце — предварительно просверленные монтажные отверстия.
Обработка неметаллических деталей
Обработка поверхности: возможность выполнения последующей обработки, включая нанесение покрытий распылением, трафаретную печать, полирование и ультразвуковую сварку, сочетание внешнего вида и функциональности.
Прецизионный полый держатель из алюминиевого сплава, инструментальный поддон
Это изделие представляет собой цельную полую оснастку, изготовленную на станке с ЧПУ из алюминиевого сплава. Общая конструкция представляет собой каркасную сетку с предварительно просверленными позиционирующими отверстиями и местами для монтажа.
Группа модулей программируемых логических контроллеров ПЛК
Группа модулей ПЛК является основным блоком управления оборудованием для обработки полупроводниковых материалов влажным способом и автоматизированными производственными линиями.
Панели из листового металла для оборудования (большие дверные панели оборудования с местами крепления вентиляторов охлаждения).
Этот продукт представляет собой нестандартную панель из листового металла для оборудования. Она изготовлена из листового металла методом лазерной резки, гибки, прецизионной обработки и порошковой покраски.
Акриловая композитная визуальная камера для жидкостных реакций
Этот продукт собран из нескольких деталей из прецизионно обработанного акрила (ПММА), включая цилиндрическую верхнюю полость и квадратный базовый модуль.
Рама для крупногабаритного оборудования из полипропилена
Этот продукт представляет собой крупногабаритную раму для оборудования, собранную из белых полипропиленовых листов методом резки и сварки.
Прозрачная камера для экспериментов с жидкостями из акрила (ПММА).
Этот продукт представляет собой прозрачную цилиндрическую акриловую (ПММА) полость, изготовленную с высокой точностью из цельного куска акрилового стержня с использованием фрезерования и токарной обработки на станках с ЧПУ.
Корпус переходника для полупроводникового вакуумного тройника с нерегулярной полостью
Этот компонент представляет собой тройниковый адаптер специальной формы для вакуумного оборудования полупроводниковой промышленности, изготовленный из цельной заготовки из алюминиевого сплава с использованием пятиосевого интегрированного фрезерования с ЧПУ.
подразделение по поставке лекарственных препаратов для полупроводниковой промышленности
Это оборудование представляет собой автономный шкаф подачи химикатов для линий влажной обработки полупроводников. Вся установка имеет каркас из листового металла и включает в себя химический насос, фильтр, датчик давления, электромагнитный клапан, трубопроводы и модуль электрического управления.
Прецизионный фланцевый узел втулки
Это прецизионный интегрированный фланцевый узел с втулкой, специально разработанный для полупроводникового оборудования.
Прозрачный прямоугольный медицинский резервуар из ПВХ
Этот продукт представляет собой прямоугольный резервуар для хранения жидкостей, изготовленный из прозрачного ПВХ-листа, вырезанного, склеенного и сваренного.
Основная камера из ПТФЭ для оборудования, предназначенного для жидкостной обработки полупроводников.
Этот продукт представляет собой крупномасштабную интегрированную камеру обработки из ПТФЭ (политетрафторэтилена), состоящую из опорной плиты, центральной цилиндрической камеры, а также ручки и прижимного кольца из нержавеющей стали.
